Feldemissions-Rasterelektronenmikroskopie (FE-REM)

  • https://raw.githubusercontent.com/FraunhoferIOSB/KERES/main/keres.owl#FEREM
Basisklasse(n): Rasterelektronenmikrosopie (REM)  

Feldemissions-REM kann nichtleitende Objekte besser darstellen als REM.

  • Keiner